青岛大学微电子科学与工程专业于2010年经教育部批准设置并正式招生,青岛大学是国内高校中率先、山东省省属高校中首个设置该专业的高校。青岛大学为了对接“新工科”建设、促进山东省“新旧能转换重大工程”、推动微电子学科发展,于2018年5月16日成立了微纳技术学院,学院由中国半导体集成电路制造产业之父、董事长,中芯国际创始人、首任董事长兼CEO专家张汝京博士任终身名誉院长(兼特聘教授)。青岛大学携手芯恩共建了山东省唯一一条价值数十亿的8寸芯片实训用基地,于2018年7月4日正式揭牌。2019年获批国家一流本科专业建设点(为山东省唯一入选国家一流本科建设点的微电子科学与工程专业),2021年完成工程教育认证现场考察工作。目前学院依托微电子科学与工程专业招收生,2022年拟招生人数为120。