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姚钊博士简介
2017-06-23 15:08   审核人:

个人简介

姚钊,博士,1990年7月生,电子信息学院讲师,硕士生导师,微电子专业实验室主任。博士毕业于光云大学(韩国),在国际著名SCI期刊发表文章20余篇,如:《ACS Applied Materials & Interfaces》、《Sensors and Actuators B: Chemical》、《Scientific Reports》、《Nanoscale Research Letters》、《Materials Science in Semiconductor Processing》等,申报韩国发明专利25项,已授权15项。目前主持国家自然科学基金青年项目1项,参与国家自然科学基金面上项目1项,主持山东省自然基金1项、山东省高校科研计划项目1项。主要从事射频无源集成器件与电路、射频生物传感器及新型柔性电子器件的研究,欢迎有志于微纳电子器件的本科生和研究生。联系电话:15105426566,电子邮箱:yao9074@hotmail.com。

研究背景和领域

● 主要研究背景

在韩国期间,主要从事射频集成电路的设计和加工,包括无源电容,螺旋电感,薄膜电阻等元件的建模和仿真;滤波器,功分器,耦合器等器件级的仿真,加工和测量,主要涉及介质薄膜的生长,图案化以及金属化等工艺,拥有三年半导体器件级流片加工经验。通过与韩国纳米研究院的合作,接受半导体加工培训,拥有无源集成电路加工流程参数和高频肖特基二极管量产流片经验,能够熟练使用自动匀胶洗胶系统(MSX-1000 Track)、手动光刻机(EVG 620)、介质和金属刻蚀设备ICP,RIE(OXFORD ICP 380)、自动除胶机(lift-off)、微波等离子体去胶机(Microwave Asher),测量设备包括原子力显微镜(XE-100)、扫描电子显微镜(SEM Hitachi)、LCR测量仪(E4980A)、微波网络分析仪(Agilent N5250)等半导体加工和测量设备。

● 主要研究方向:

1.射频集成无源器件的设计和加工,包括无源电容、螺旋电感、薄膜电阻、滤波器、功分器等器件级的仿真、制备和测量;

2.射频集成传感器,包括射频生物传感器、可穿戴温湿度传感器;

3.新型半导体材料,包括高k值介电材料、金属氧化物半导体材料、新型纳米材料及其在光电探测器和生物传感器中的应用。

第一作者或通讯作者论文(截至2018年)

(1) Tian Qiang, Cong Wang*, Ming-Qing Liu, Kishor Kumar Adhikari, Jun-Ge Liang, Lei Wang, Yang Li, Yu-Ming Wu, Guo-Hui Yang, Fan-Yi Meng, Jia-Hui Fu, Qun Wu, Nam-Young Kim,Zhao Yao*, High-Performance Porous MIM-Type Capacitive Humidity Sensor Realized via Inductive Coupled Plasma and Reactive-Ion Etching,Sensors and Actuators B: Chemical, 2018, 258, 704-714.

(2) Ho-Kun Sung#, Tian Qiang#,Zhao Yao*, Yang Li, Qun Wu, Hee-Kwan Lee, Bum-Doo Park, Woong-Sun Lim, Kyung-Ho Park and Cong Wang*, Vertical and bevel-structured SiC etching techniques incorporating different gas mixture plasmas for various microelectronic applications,Scientific Reports, 2017, 7, 3915-1-9.

(3)Zhao Yao, Ho-Kun Sung, Nam-Young Kim*, Investigation of n-ohmic Contact of Vertical GaN-based Light-emitting Diodes on Graphite substrate with Ag-In Bonding” Materials Science in Semiconductor Processing,Materials Science in Semiconductor Processing, 2017, 59(1): 5-9.

(4)Zhao Yao, Cong Wang, Yang Li, Nam-Young Kim*, AAO-assisted Synthesis of Highly Ordered, Large-Scale TiO2Nanowire Arrays via Sputtering and Atomic Layer Deposition,Nanoscale Research Letters, 2015, 10, 166 (1-7).

(5)Zhao Yao, Cong Wang, Ho-Kun Sung, Nam-young Kim*, Defined Micropatterns of Platinum Thin Films by Inductively Coupled Plasma Etching using SF6/Ar/O2Mixture Gas,Materials Science in Semiconductor Processing, 2014, 27, 228-232.

(6)Zhao Yao, Cong Wang, Yang Li, Hong-ki Kim, Nam-young Kim*, Effects of Starting Powder and Thermal Treatment on the Aerosol Deposited BaTiO3Thin Films toward Less Leakage Currents,Nanoscale Research Letters, 2014, 9, 435 (1-6).

(7)Zhao Yao, Cong Wang, Nam-Young Kim*, A Compact Dual-mode Dual-band Bandpass Filter Using Stepped-impedance Open-loop Resonators and Center-loaded Resonators,Microwave and Optical Technology Letters, 2013, 55, 3000-3005.

主要科研项目

1.国家自然科学基金青年项目,61904092,基于多频集成LC谐振器的血糖浓度动态射频响应的研究,2020.01-2022.12,23万元,在研,主持。

2.国家自然科学基金面上项目,51872149,基于纳米纤维场效应晶体管的CMOS器件研究及其在生物传感器中的应用,2019.01-2022.12,60万元,在研,参与。

3.山东省自然科学基金博士基金项目,ZR2018BF027,基于室温气溶胶沉积技术的射频集成无源器件实现的研究,2018.03-2020.12,9万元,在研,主持。

4.山东省高等学校科研计划项目,J8KA382,基于射频集成器件的无标记葡萄糖生物传感器的研究,2018.10-2020.10,2万元,在研,主持。

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